仪器简介：

2006�?2月一推出，立刻受到高校科研单位欢迎、�/p>

国内用户� 南京大学分析中心 上海师范大学 天津46所

技术参数：

3、仪器主机功能与附件功能

3.1 单色化XPS，Al K��，包括：

大面积XPS、小面积XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS�

3.2 双阳极XPS，Mg/Al K��

3.3 紫外光电子能谱，UPS

3.4 高压反应�

3.5 分析室样品冷/热台

4、仪器主要部�

4.1 超高真空分析�

180度半球能量分析器�

电子透镜传输系统�

１６多通道电子检测器

分子泵，离子泵，钛升华泵

　　　单色化XPS （AlK��）系统，含内循环水冷却装置，

XPS成像系统�

双阳极XPS系统，冷却循环水和单色化系统共用

紫外光源�

荷电中和系统，用于绝缘样品或导电性差的样品的荷电补偿�

5轴样品台�

标准样品托　２个

Recessed样品托　1�

氩离子枪，用于深度剖析，

热双灯丝离子规，

闭路电视显微彩色摄像系统和SXI成像系统�

分析室和进样室都有独立光纤照明系统，

可观察视窗，视窗直径10cm左右�

样品�?冷台，温度可监测�

4.2 样品进样�

机械泵，分子� 热双灯丝离子规，

可观察视窗，视窗直径10cm左右�

空气压缩机一台，国内采购

4.3 石英高压反应�

程序控温系统

真空监测系统

真空泵系�

进出气系统，参考南京大学用户设计建议�

压力 一个大气压

全石英底�

密封材料 Byton O-ring

**温度 600�

远红外线加热控温系统

单独石英反应器冷却系�

4 样品磁耦合传输系统

4.5 真空烘烤系统

4.6 主机系统集成，减震装置�

4.7 计算机系统，含数据采集和数据处理软件包�

4.8 与以上所有系统相关联的电子学控制柜�

5、仪器主要技术参数与要求

5.1 仪器主机功能，单色化Al K��

5.1.1 大面积XPS

Ag3d5/2�?400umx100um� FWHM�?.00eV时，灵敏度≥1�?00�?00 cps�

Ag3d5/2�?400umx100um� FWHM�?.60eV时，灵敏度≥250�?00 cps�

5.1.2 小面积XPS�?小分析面积≤10��m ，性能指标应达到：

Ag3d5/2�?0��m� FWHM�?.60eV时，灵敏度≥15�?00 cps�

Ag3d5/2�?0��m� FWHM�?.60eV时，灵敏度≥4�?00 cps�

Ag3d5/2�?0��m� FWHM�?.00eV时，灵敏度≥12�?00 cps�

Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree

75degree

Ag3d5/2�?0��m � FWHM�?.90eV时，灵敏度≥ 99kcps

Ag3d5/2�?00��m � FWHM�?.90eV时，灵敏度≥ 47kcps

45degree

Ag3d5/2�?0��m � FWHM�?.90eV时，灵敏度≥ 50kcps

Ag3d5/2�?00��m � FWHM�?.90eV时，灵敏度≥ 27kcps

5.1.3 成像XPS

单色化X射线扫描成像�?*空间分辨率≤10 ��m�

5.1.4 深度剖析XPS

聚焦扫描氩离子枪，当working distance�?0 mm�?聚焦氩离子束斑≤150��m，当

working distance�?0mm时候，聚焦氩离子束斑≤300��m束流密度�?.5 mA/cm2�

5.2 仪器附件功能

5.2.1 双阳极XPS，MgK��，Ag3d5/2，FWHM�?.40eV时，灵敏度≥1�?00�?00 cps�

5.2.2 紫外光电子能谱（UPS�

(a) 光源：He紫外光源，HeI:HeII=3:1

(b) 性能指标：分辨率（Ag费米边）�?20 meV时，灵敏度（Ag4d）≥2�?00�?00 cps�

(c) *小步长：5meV

5.2.3 高压反应�

(a) 材质：石�

(b) 内胆内压强：�?60Torr

(c) **温度，≥600�

(d) 气体混合仓附计量装置，包括压力表、流量计和针阀等�

5.2.4 分析室样品冷/热台，温度：170 K�?00 K，温度可检测，加热PID控制�

5.3 仪器主要部件参数与要求：

5.3.1 能量分析�

(a) 类型：半球能量分析器

(b) XPS能量范围� 0�?600 eV�?5 meV�

UPS �?�?20 eV�? meV�

5.3.2 超高真空分析�

(a) SUS材质内表面经过特殊处�

(b) 真空：小�?.7��10-10 mbar

5.3.3 样品进样�

(a) 材质：非磁性不锈钢材料

(b) 真空：小�?.7��10-9 mba

5.3.4 深度剖析氩离子枪

100eV�?keV，连续可调，扫描型�

5.3.5 荷电中和系统：双枪中和系统�

5.3.6 样品控制�

(a) 轴向�?轴，

(b) 移动：各向移动距离必须与样品台尺寸相匹配，步进步长小�?��m�

(c) 倾斜�?�?0��

5.3.7 计算机系�

(a) Pentium IV，CPU主频3.0GHz左右�

(b) 内存2G� 硬盘250 G�

(c) ２个DVD/CD-RW Combo光盘驱动器，

(d) 22" 液晶平板显示器；

(e) 4个USB2.0接口�

(f) 100M以上以太网接口，用于数据传输�

(g) 预装Windows XP正版软件�

( h ) 预装仪器操作软件和数据分析软件（�?*的XPS数据库），附安装软件光盘：�/p>

主要特点９�/strong>

1.世界�?***扫描微聚焦X-射线source

2..世界�?***扫描微聚焦X-射线产生�?次电子成像SXI像和XPS成像，可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷、�/p>

3。可以给�?0um XPS sensitivity.其他公司不能�?0um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上、�/p>