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主要优势

高速电镀铜同时实现更好的均匀化控刵�/p>

水平式电镀腔体，无交叉污染

可单腔体维护，提高设备正常运行时间（up time（�/p>

Rubber Seal 技�? 更好的密封性能

第二阳极技�?更好地控制均一�?/p>

灵活的工序控刵�/p>

特性和规格

兼容8寸和12寷�/p>

*多可配至3个Load Port

*多可配至4种预湿腔体，真空控制

*多可配至4 个清洗腔佒�/p>

*多可配至20个电镀腔体: Cu,Sn/Ag, Ni

设备尺寸: 2250 x 7100 x 2900 mm

工艺性能９�br style="box-sizing: border-box; outline: 0px; padding: 0px; margin: 0px;"/>片内均一�? <5% (**-*�?2 平均)
片间均一性＜3%
重复�? <3%
COP: < 10 µm