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台阶?/strong>
NanoMap-LS
接触式三维表靡strong>台阶?/strong>NanoMap-LS
特点
探针台阶?/strong>是利用探针扫描样品表面,仪器记录探针随样品表面高低起伏状态,整合数据得到台阶高度,表面形貌,沟槽深度等特征
双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得?*化的小区域三维测
针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围?50mm X 150m 。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm
接触式探钇strong>台阶?/strong>在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观
针尖扫描采用双光学传感器,拥有宽阔测量动态范围(**?00m)及亚纳米级垂直分辨率 ?小0.1nm
软件设置恒定微力接触
简单的2步关键操作,友好的软件操作界面?/p>
应用
台阶?/strong>主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度,台阶高度,二维粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三维粗糙度(Sa,Sq,Smax),划痕截面面积,划痕体积,磨损面积,磨损体积,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息,或三维信息过于粗糙的现状。将台阶?/strong>带入了另一个高精度测量的新时代、/p> 三维表面轮廓测量和粗糙度测量,即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件 薄膜和厚膜的台阶高度测量 划痕形貌,磨损深度、宽度和体积定量测量 空间分析和表面纹理表 平面度和曲率测量 二维薄膜应力测量 微电子表面分析和MEMS表征 表面质量和缺陷检 环境要求 湿度?0-80% 相对湿度,无冷凝 温度?5-85 华氏度(△T??小时 电源要求?10/240V?0/60 Hz 技术规 标准样品 台阶高度标准样品(NIST认证 100um 系统 光学照相机视场范 1.5 X 1.5mm 光学照明 软件控制暗场和亮 电脑 Pentium IV USB2.0联接 操作系统 Win XP 系统动力需 90-240V?50W 空间尺寸 20宽X 22 X 25 重量 160lb keyword9strong>台阶?/strong>、形貌仪、磨损体积测量仪?strong>台阶?/strong>、薄膜测厚仪、三维表靡strong>台阶?/strong>、三绳strong>台阶?/strong>、白光干涉仪、三绳strong>台阶?/strong>、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表靡strong>台阶?/strong>?/span>
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