台阶仪，

NanoMap-LS 接触式三维表面台阶仪

NanoMap-LS 探针接触� 台阶�

特点９�/p>

探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征�

双模式操作（针尖扫描和样品台扫描)

针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，

三维扫描范围�?50mm X 150m

样品台扫描扫描范围到100mm

纳米级抛光光学参考平晵�/p>

实时彩色光学照相机直接观�

双光学传感器 纵向测量范围**�?000um�?小到分辨�?.1nm

恒定微力接触 *�?.03mg

简单友好的人机操作界面

应用

台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra，Rq，Rmax...），三维粗糙度（Sa，Sq，Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状、�/p>

三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件�

薄膜和厚膜的台阶高度测量

划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量

空间分析和表面纹理表�

平面度和曲率测量

二维薄膜应力测量

微电子表面分析和MEMS表征

表面质量和缺陷检�

环境要求

湿度�?0-80%� 相对湿度，无冷凝

温度�?5-85 华氏度（△T�?�?小时�

电源要求�?10/240V�?0/60 Hz

keyword：台阶仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面台阶仪、三维台阶仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面台阶仪�?/span>