2核心参数９�/span>

l仪器种类：原子力显微镛�/span>

l样品台移动范围：20mm*20mm

l样品尺寸：直徃�/span>�?0mm�厚度�?0mm

l定位检测噪声：X-Y�?.25nm� Z�?.03nm

l产地类别：进口仪�?/span>

2准确成像�无交叉耦合现象

l业界**皃�/span>XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动

l*低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超迆�/span>1纳米

l垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%

l优化的水平扫描器ringing现象�科学的正吐�/span>sine-scan算法

2准确扫描，真正的非接触模弎�/span>

l业界**的垂直扫描器，带宽超迆�/span>9kHz，探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec

l在非接触模式�?快的扫描速度

l极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫揎�/span>

l极低的样品损伣�/span>

2准确测量，真正的样品形貌

l采用业界**的低噪声迟滞检测器测量样品形貌

l业界**的极小正反测量偏离量，小亍�/span>0.15%

l采用优化的散热部件，极大地降低了系统热漂移和迟滞现象

l功能强大的先进隔音罩，舱体内部主动控温用户工作效玆�/span>

l开放式的设计，方便更换探针和样�?/span>

l探针预定位装夹设计，简单便捷的测量激光调节过程，具有**的自上至下的直观观察系统

l创新皃�/span>‛�/span>十秒进针“�/span>功能，探针可自动高速完成进针操佛�/span>

l24位数字电控箱，三组内置锁存放大器，具夆�/span>Q-control和弹性常数校准功胼�/span>

2技术参�?/span>

XY扫描�?/span>

l闭环控制式单模块柔�?/span>XY扫描�?/span>

l扫描范围: 50 ��m �� 50 ��m (可逈�/span>100 ��m �� 100 ��m)

l分辨玆�/span>: 0.05 nm

l定位检测噪韲�/span>: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)

l水平线�?/span>: < 2nm (over 40 ��m scan)

Z扫描�?/span>

l柔性引导高力度扫描�?/span>

l扫描范围: 15 ��m (可逈�/span>30 ��m)

l分辨玆�/span>: 0.015 nm

l定位检测噪韲�/span>: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)

l共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

l表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光学系统

l可观察样品和探针的直视同轴光学系绞�/span>

l视场: 480 �� 360 ��m (10�� objective lens)

lCCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 ��m（�/span>

物镜

l10x (0.21 NA)超长工作范围的镜夳�/span>(1 ��m分辨玆�/span>)

l20x (0.42 NA)高分辨率长工作范围的镜头(0.6 ��m分辨玆�/span>)

信号处理

lADC: 18个通道4个高逞�/span>ADC通道(50 MSPS)

X，Y咋�/span>Z扫描器定位传感器皃�/span>24-bit ADCs

lDAC: 12信道2个高逞�/span>DAC通道(50 MSPS)

X，Y咋�/span>Z扫描器定位的20-bit DACs

l**数据大小: 4096 x 4096像素

集成功能

l3个通道数字锁相放大�?/span>

l热噪声法标定弹性系�?/span>

l数码Q控制

外部信号介入

l20个嵌入式信号输入/输出端口

l5�?/span>TTL输出: EOF� EOL� EOP� Modulation咋�/span>AC bias