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一.产品特炸/span>
仪器管路经钝化处理,零死体积管路设计,等特殊工艺保证了系统的惰性,可靠性更高,使用寿命更长
进样预处理系统和切换阀均采用带吹扫保护气路的进口自动阀,可防止空气混入、提高系统的密闭?/span>
配置气体分离专用微填充柱和高效毛细管柱,配合分离预切再分离技术,实现样品更高分离?/span>
采用了先进的10/100M自适应以太网接口,实现全网络反控,工作站界面简单,数据处理功能强大、/span>
采用成熟的多阀多柱,中心切割和反吹技术,国际先进的设计工艺,稳定可靠的高纯气体分析色谱技术解决方桇/span>
氦离子检测器
二.技术参?/span>
◆温控系绞/span>
柱箱温度范围:室?5℃~450ℂ/span>
温度设定精度?.01ℂ/span>
温控数量?路独立控温系绞/span>
程序升温速度?.1?0?min
智能后开门:进出风量无级可调
降温速度:从350℃降?0℃<7min
程序升温阶数?6阶(可扩展)
*长一次运行时间:999.99min
◆进样系绞/span>
控制方式:压?流量控制
流量:气?*流量?000SCCM
灵敏度:0.01SCCM
输出偏移量(精度):5%
分流比:**5000:1
电磁阀:高速切换电磁阀寿命?10mS?00万次)
进样阀:可搭载多个进口自动控制阀,可自动序列运行
◆检测器及纯化器系统
检测气体类型:H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2筈/span>
放电模式:脉冲放甴/span>
基线噪声:≤0.05mv
基线漂移:≤0.2mv/30min
检测限?0ppb(甲烷)
重复性:RSD?%
可纯化气体:He、Ar、Ne、Kr、Xe筈/span>
**操作压力?000Psi
去除气体:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3筈/span>
残留浓度:≤10ppb
*低检测指标:
杁span>质: | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H2 | C2H4 | C2H6 | N2O筈/span> |
PPB | 10 | 10 | 15 | 25 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 20 |
三.适用标准9/span>
GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢 GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦《/span>
GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮 GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩《/span>
GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧 GB/T 14601-2009《电子工业用气体 氨
GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷《/span>GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯《/span>
GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢 GB/T 14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼
GB/T 28125.1-2011《空分工艺中危险物质的测定《/span>
四.典型谱图9/span>
暂无数据