Cressington 108Auto全自动离子溅射仪是用于扫描电镜的

***高质量的镀膜仪系统

●自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和**的导电喷镀效果、�/span>

●通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损、�/span>

●操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气捡�/span>

气控制、�/span>

●在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可里�/span>

现的喷镀效果、�/span>

●可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件（�/span>(分辨率优亍�/span>0.1nm＋�/span>-99.9nm�?/span>+999.9nm)

●数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率�?*皃�/span>

镀膜效果、�/span>

◎�span>可使用多种金属靶材：Au＋�/span>Au/Pd＋�/span>＋�/span>Pt＋�/span>＋�/span>Pt/Pd，靶材更换快速方便、�/span>

技术规格：

样品仓尺寸：120 x 120mm（高（�/span>(4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结枃�/span>

样品台：可放�?/span>12个标凅�/span>SEM样品座，高度可在60mm内调芁�/span>

溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，*

�?/span>180A，配有过流保抣�/span>

溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，**电流40mA，程序化数字控制

溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

模拟计量：真穹�/span>Atm - 0.01mb电流: 0 - 200A

厚度监测器：MTM-10高精度厚度监测器(选配)

控制方式：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时�?/span>

＇�/span>0，�/span>300s），自动放气

电源９�/span>200-240 VAC� 50/60Hz

功率９�/span>1000VA (包括镀碳机和真空系绞�/span>)

Cressington 108C Auto全自动镀碳仪是用于扫描电镜的

***的镀碳仪系统

●独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大�?/span>20nm左右进行多次蒸发，无须切

削或调整碳棒形状、�/span>

◎�/span>108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系绞�/span>

结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得�?/span>

所需的碳膜厚度、�/span>

●使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中

的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低＋�/span>

碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作、�/span>

●自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，独特的设计�?/span>

许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压、�/span>

◎�span>可配夆�/span>MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件（�/span>(分辨率优亍�/span>0.1nm＋�/span>-99.9nm�?/span>+999.9nm)

技术规格：

样品仓尺寸：120 x 120mm（高（�/span>(4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结枃�/span>

溅镀材料９�/span>Bradley型高纯度碳棒(6.15mm� [1/4"])

溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，*

�?/span>180A，配有过流保抣�/span>

样品台：可放�?/span>12个标凅�/span>SEM样品座，高度可在60mm内调芁�/span>

模拟计量：真穹�/span>Atm - 0.01mb电流: 0 - 200A

厚度监测器：MTM-10高精度厚度监测器(选配)

控制方式９�/span>自动蒸镀控制，使用可编程电压控制和计时；可选择手动操作或自动控刵�/span>

数字计时(0‒�/span>30科�/span>)，数字电压设宙�/span>(0.1 to 6.0V)

电源９�/span>200-240 VAC� 50/60Hz

功率９�/span>1000VA (包括镀碳机和真空系绞�/span>)

SPI Supplies Vacu Prep II真空蒸发溅射�?/span>

SPI Supplies Vacu Prep II是一款快速、清洁、简便的自动台式高真空蒸发溅射仪。它利用固态电子控制泵送、蒸发和排气序列。安全可靠，易于维护、�/span>SPI Supplies Vacu Prep II可用于常规碳镀层或各种金属材料的蒸发。所有系统操作通过互动触屏幕控制，易于掌握。用户也可以通过屏幕监视和管理系统的运行，也可选择手动或自动工作模式，完成工作、�/span>

SPI Supplies Vacu Prep II通过快速的泵送运动，能够快速实�?/span>10-7 Torr范围的极限真空。该设备的另一特色是拥有大型的工作平台，可容纳多个引线、夹具等、�/span>762.5px �� 1142.5px的工作室可以为蒸发和溅射工作提供充足的空间。钟罩可以轻松上升或下降、�/span>

涡轮分子泵是该系统的核心部件。复合涡轮分子泵操作的速度丹�/span>60卆�/span>/秒，在短时间内可实现良好的真空水平。典型的泵送周期（10-5）可实现�?/span>10分钟内为一个标凅�/span>TEM网格的镀碳。可通过液氮阀门调整泵送速率以达到更高的真空水平、�/span>

SPI Supplies Vacu Prep II配有安全联锁装置，可保障操作者的安全，以及防止设备损坏。前面板上配有紧急关闭开关、�/span>

典型的应用：

l电子显微镜样品制备；

l关于透射电镜咋�/span>X射线分析的高真空碳镀层工作；

l金属化合物电阻蒸发；

l制备碳支持膜：�/span>

l碳铂

l旋转阴影

l孔径清洗

l石棉分析

l故障分析

技术参数：

产品编号	ZB-
产品名称	SPI Supplies Vacu Prep II真空蒸发溅射�?/span>
尺寸大小	78.7 �� 71.1 �� 76.2 cm
重量	250磅（113.4kg（�/span>
空气（汽门系统）	80磄�/span>
�?/span>	可选的排气＇�/span>5-10磅）
电力	110V咋�/span>220V
机械泵需要回涡轮泴�/span>	泵必须能夞�/span>85卆�/span>/分钟