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德国样本
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WLI Infra干涉?/strong>
德国BMT WLI Infra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供**的重复性,设计坚固紧凑、免维护,适用于在线测量、/strong>
产品特点9/strong>
MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量:/span>
纳米级分辨率:/span>
手动或自动测量步骤设计,简单易用;
不受温度变化和热效应的影响;
**的重复性;
可配备表面轮廓测量、/p> 技术参数:
厚度分辨率(nm <1
探针大小 ?#956;m ?50(可定制(/span>
厚度范围 ?#956;m 0.1-600
仪器尺寸 (mm 320x320x380
重量 (kg 120
晶圆夹具 定制,可?0cm
全自动测野/span>
标准或定制的软件匄/span>
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