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146i 型多种气体校准仪
在局域网上可被远程访?/span>
大屏幕液晶显礹/span>
用闪存增强数据存储性能
优化的设计加强了电路的通用性和集成?/span>
易于维护的内部布局
配有质量流量稀释系绞/span>
配有产生O3和NO2的气相滴定装?/span>
可配产生SO2、NO2、H2S、NH3等气体的渗透炉
流量测量准确?/span> |
2%读数戕/span>1%满度值，以较低者为准（20臲/span>100%满度值） |
流量测量线?/span> |
0.5%满度倻/span> |
流量测量重复?/span> |
2%读数戕/span>1%满度值，以较低者为准（20臲/span>100%满度值） |
零气流量 |
5戕/span>10（准标）戕/span>20slm |
标气流量 |
50戕/span>100（标准）戕/span>200sccm |
渗透透炉温度 |
30戕/span>35戕/span>45?#177;0.1ℂ/span> |
臭氧源输出浓?/span> |
1ppm@6 SLPM(稳定性和重复性满足或超过U.S. EPA的要求） |
暂无数据
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