KOSAKA LAB ET 4000台阶�?探针接触式轮廓仪/微细形状测定�?（Microfigure Measuring Instrument�

产品介绍株式会社小坂研究所（KOSAKA）是� 1950 年创立的公司，也是日�?*家发表光学干杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为**代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。ET4000系列中，有ET4000A(多动能、自动化、可添加一�?D软件，扫出测量表面的3D形貌) ，ET4000L(完全自动化的，针对体积较大的样品可与大型精密贵重玻璃或晶片尺寸样�? ，ET4000M(Y轴方向手动移动、性价比高、易于使�? ，常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的稳定性、高精度和强大的功能。在平板显示器FPD，晶片，硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛�

主要特点９�/strong>

�?�?*的台阶再现性与线性度�

�?）超高真直度，可确保量测图形不受任何影响，并可在真直度的保证下进行长距离测量�

�?）采用超低噪音直动式 LVDT，超低测定力的触针可任意调节�

�?）配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量�

�?）可对应各种国际规范，测定参数多� 60 多种�

�?）适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄�?化学涂层以及平板显示等�

技术参�一、测定工件：

1. **工件尺寸 210 �� 210 mm to 300 �� 400 mm

2. **工件厚度 50mm

3. **工件重量 2kg

二、检出器（pick up）：

1. Z 方向测定范围 Max. 100��m

2. Z 方向分解� 0.1nm

3. 测定� 0.5 ��N to 500 ��N

4. 触针半径 0.5 � 2 ��m

5. 驱动方式 直动弎�/p>

三、X � (基准�?�

1. 移动�?**测长) 100mm

2. 移动的真直度 0.005��m/5mm

3. 测定速度 0.005 ~ 2mm/S

4. 位置定位时速度 Max. 10mm/S

5. 线性尺(linar scale) 分解� 0.01��m

6. 位置定位再现� �� 5��m

7. 滑轨 材质为在铸铁(CD-5)上，镀上硬� Cr，无润滑(于移动台侧，使用铁弗龙折动材�?

8. 驱动 DC motor + Dynamic belt

四、Y �?位置决定�?�

1. 移动� 52mm

2. 移动速度 max.3mm/S

3. 滑轨 Crose roller 滑轨

4. 驱动 DC motor + 滚珠螺杆(P=2mm)

5. 检出器自动停止机能

五、工件台�

1. 工件台尺� 210mm��210mm

2. 自动倾斜� X: �� 1mm/150mm Y: �� 1mm/186mm

3. 分解� 0.25��m

4. 驱动 pulse motor

六、全自动量测功能

七、工件观� max. 80�?可选购其它高倍率 CCD)

八、床� 材质为花岗岩�

九、段差测定再现� 1��� 5A��以内

十、防振台(选购) 落地型或桌上�

十一、电� AC100V��10%�?0/60HZ�?00VA

十二、本体外观尺� W660��D580��H660mm(不含防震�?