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C11627-01 纳米膜厚测量仪系刖/strong>
特?/p>
无参照物工作
尺寸紧凑,节省空闳/p>
高速、高准确?/p>
不整平薄膜精确测野/p>
分析光学常数(n,k(/p>
可外部控刵/p>
参数
型号 | C11627-01 |
可测膜厚范围(玻璃) | 20 nm to 50 m*1 |
测量可重复性(玻璃(/td> | 0.02 nm*2 *3 |
测量准确度(玻璃(/td> | 0.4 %*3 *4 |
光源 | LED |
测量波长 | 420 nm to 720 nm |
光斑尺寸 | Approx. 1 mm*3 |
工作距离 | 10 mm*3 |
可测层数 | *?0屁/td> |
分析 | FFT 分析,拟合分析,光学常数分析 |
测量时间 | 19 ms/炸sup>*5 |
光纤接口形状 | FC |
外部控制功能 | RS-232C,Ethernet |
电源 | AC100 V to 240 V 50 Hz/60 Hz |
功耖/td> | 70W |
*1:以 SiO2折射?.5来转捡/p>
*2:测?00 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏?/p>
*3:取决于所使用的光学系统或物镜的放大率
*4:可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中
*5:连续数据采集时间不包括分析时间
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