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C11295 多点纳米膜厚测量?/strong>
特?/p>
多达15点同时测野/p>
无参照物工作
通过光强波动校正功能实现长时间稳定测野/p>
提醒及警报功?通过或失?
反射(透射)和光谱测野/p>
高速、高准确?/p>
实时测量
不整平薄膜精确测野/p>
分析光学常数(n,k(/p>
可外部控刵/p>
参数
型号 | C11295-XX*1 |
可测膜厚范围(玻璃) | 20 nm to 100 m*2 |
测量可重复性(玻璃(/td> | 0.02 nm*3 *4 |
测量准确度(玻璃(/td> | 0.4 %*4 *5 |
光源 | 氙灯 |
测量波长 | 320 nm to 1000 nm |
光斑尺寸 | Approx. 1 mm*4 |
工作距离 | 10 mm*4 |
可测层数 | *?0屁/td> |
分析 | FFT 分析,拟合分枏/td> |
测量时间 | 19 ms/炸sup>*7 |
光纤接口形状 | SMA |
测量点数 | 2~15 |
外部控制功能 | Ethernet |
接口 | USB 2.0(主单元与电脑接口) RS-232C(光源与电脑接口(/td> |
电源 | AC100 V to 240 V 50 Hz/60 Hz |
功耖/td> | ?30W?通道)~450W?5通道(/td> |
*1?XX,表示测点数
*2:以 SiO2折射?.5来转捡/p>
*3:测?00 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏?/p>
*4:取决于所使用的光学系统或物镜的放大率
*5:可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中
*6:卤素灯型为C11295-XXH
*7:连续数据采集时间不包括分析时间
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