产品介绍９�/span>

Agilent 7500 ICP-MS电感耦合等离子体质谱，�span>ICP-MS，是一种新型的无机元素和同位素分析技术，可快速同时检测周期表上几乎所有元素、�span>ICP-MS技术在分析能力上，超过传统的无机分析技术如电感耦合等离子体光谱技�?span>(ICPAES)、石墨炉原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技�?span>(CVAAS)的总和，被称为当代分析技�?激动人心的发展、�/span>

*近，与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成丹�span>ICP-MS技术应用的一个焦点、�/span>

产品参数９�/span>

� 可快速同时检测周期表上几乎所有元紟�/span>

� *低的检出限（低臲�span>ppq级）

� 分析效益/成本�?*

� *宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数白�span>ppm浓度

� 谱线*简单、干�?小，准确度和精密度好

� 需要样品量很低(ul臲�span>ml)，分析速度很快＇�span>1｝�span>3分钟/样品（�/span>

� 检测模式灵活多栶�/span>

半导体工业常用材料中超痕量污染物分析９�/span>

固体９�span>Si;GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等

液体：超纯水：�span>HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水筈�/span>

气体９�span>SiH4;TE0S;NF3;N2筈�/span>

Agilent ICP-MS可直接分析有机样品：

Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品皃�span>ppt级痕量污染元素、�/span>

� 对其中一些样品，其他方法无法得到满意的结果，高功率屏蔽矩冷等离子体技术是**的分析方法、�/span>

� 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)筈�/span>

� 常用有机溶剂——甲苯、二甲苯�?span>IPA筈�/span>

� 高基体样品——光刻胶、液晶�?span>BPSG�?span>PSG等挥发性极强的清洗剂——丙酮、甲醇等、�/span>