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日立高新离子研磨装置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )具有断面加工和平面研磨功能的混合仪器!
日立高新离子研磨装置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 (/strong>皃strong>混合模式带有两种研磨配置9/p>
断面加工:将样品断面研磨光滑,便于表面以下结构高分辨成像、/p>
平面研磨:将样品表面均匀研磨5平方毫米,从不同角度有选择地研磨,以便突出样品的表面特性、/p>
日立高新离子研磨装置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 (/strong>皃strong>高通量能提高加工效率:
与之前的E-3500型相比,采用新型离子枪设计,减少了横截面研磨时间、/p>
?*加工率:硅元素为300微米/小时 加工时间减少?6%、/p>
日立高新离子研磨装置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 (/strong>皃strong>可拆卸样品台装置9/strong>
为便于样品设置和定义研磨边缘,可将样品台装置拆卸、/p>
特点 |
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