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美国样本
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Sievers硼分析仪可用于去离子超纯水应用,实现对超低硼含量的连续自动在线监测。该分析仪每小时能够检?0个样品,具有15 ppt硼的检测极限(LOD)。Sievers硼分析仪设计用于满足设备管理人员、去离子水工程师和晶圆制造工程师的需求、/p>
易于操作和维抣/span>
Sievers硼分析仪可以预测混床失效、优化EDI性能并控制抛光循环水的硼水平。这款硼分析仪可以在二氧化硅释放前检测到硼含量的增加,这有助于防止二氧化硅渗漏到超纯水中。Sievers硼分析仪可显著降低运营成本,保持超纯水系统的质量、/p>
硼分析仪的特点与优势
连续在线监测低至15 ppt的硼
多流路选项—?多四个样品流
丰富的输出选择——四个独立的4-20 mA输出,一个独立的RS-232,一个通用并行打印机端口,两个报警输出和四个独立的二进制输凹/p>
*少的维护与耗材需汁/p>
配件包包含安装所需的配仵/p>
半导体超纯工艺水
超纯水电力应?/p>
运行规格 |
|
---|---|
浓度范围 | 0.015?0 ppb B |
检测限(LOD(/td> | 0.015 ppb B |
准确?/td> | 0.01 ppb B <0.05 ppb B 15% >0.05 ppb B |
精确?/td> | 3%?.005 ppb B(以较高者为准) |
*小样?/p> 电阻玆/td> |
15 megaohms–cm |
样品温度 | 15-40C |
样品流逞/td> | 0.1 -0.5 L/分钟 |
环境温度 | 10C?0C |
样品压力 | 20-100 psig?38-689 kPa(/td> |
校准稳定?/td> | 通常12个月 |
样品颗粒 | 15微米样品预过滣/td> |
废物 | 重力排放(无背压(/td> |
仪器规格 |
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输入 | 5个隔离二进制输入 |
输出 | 4个独?-20 mA输出?个独立RS-232?个通用并行打印机端口,2个报警输出,4个独立二进制输出 |
尺寸 | 20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸?3 x 44 x 31 cm(/p> |
重量 | 48 lbs?2kg(/td> |
认证 | CE(点击此处获取符合性声明) |
耗材 |
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硼试剁/td> | 90天(12分钟取样率) 45天(6.5分钟取样率) |
试剂柰/td> | 12个月 |
零柱 | 12个月 |
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