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高分辨紫外波前传感器
PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技?4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围?90?00 nm、/p> 采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体?和表面检?例如晶片检?、/p> 有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案、/span> 主要特点 ? 高分辨率(250 x 250) ? 大孔?8? mm x 8? mm) ? 覆盖UV光谱 ? 高灵敏度(0? nm) ? 优化信噪毓/p> ? 适用于光学测野/span> 参数
孔径 | 8.0 x 8.0 mm? |
空间分辨玆/span> | 32?um |
采样炸/span> | 250 x 250 |
波长 | 190 - 400 nm |
精度 (**模式) | 10 nm |
灵敏?/span> | 0.5 nm |
动态范図/span> | > 200?um |
曲率半径 | 10 mm?? |
曲率半径灵敏?/span> | < 5.10 m |
分割频率 | 1 fps |
采样频率 | 30 fps |
尺寸(l x H x L) | 95 x 105 x 84 mm |
重量 | 900 g |
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