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紧凑型波前传感器
SID4波前传感器是一款结构紧凑的设备,它结合并实现了经典干涉法的优势(灵敏度、高分辨率和动态范围测量法)、/p>
SID4的优势源自四波横向剪切干涉技?(基于优化的哈特曼掩膜干涉光学),它是ONERA为了计量需求研发的一种革新技术、/span>
主要特点
?高横面分辨率(160x120)
?消色?/p>
?接收大光谰/p>
?强度截面测量(光束?
?结构紧凑易于使用(电脑控制,即插即?
?多用户,多设备接叢/p>
?易于安装,使用软件简昒/p>
?多种采样方式(即时,触发,软件采样?
软件特点
相位图解释模坖/p>
?倾斜
?分散
?Zernike多项弎/p>
?Legendre多项弎/p>
射束分割
?同时提供相位图和强度国/p>
?计算M?
?斯太尔率
?远场分析?/span>
光束图模块窗叢/em>
符合人体工程学原琅/p>
?软件直观
?多用户界靡/p>
?自动分析调整
光束 (可选配)
?完整射束分割
?强度分布
?高斯拟合
参数
孔径 |
3.6 x 4.8 mm? |
空间分辨玆/span> |
29.6?um |
相位和强度采样点 |
160 x 120 (> 19000? |
波长 |
350 - 1100 nm |
精度(**/相关模式) |
10 nm RMS / 3 nm RMS |
灵敏?/span> |
3 nm RMS |
动态范図/span> |
> 100?um |
曲率半径 |
20 mm (可?mm) |
曲率重复?/span> |
5. 10 m |
数值孔徃/span> |
0.1NA f/5 (可?.3 NA f/1.6) |
分割 (全分辨率) |
> 10 fps |
采样频率 |
60 fps |
尺寸(l x H x L) |
49 x 35 x 110 mm |
重量 |
250 g |
暂无数据