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美国样本
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Semiconsoft MProbe 膜厚测试?/strong>
MProbe ?/span>
大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量:氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si aSi,polySi)、硬涂层(SiC DLC) 聚合物涂 (聚对二甲苯,PMMA,聚酰胺) 薄金属薄膜等、/span>
厚度和其他参数的均匀性测量对于许多应用程序是很重要的、/span>
映射选项包括:
1.XY电动平台(150?00?00毫米游程)
2.固体19 x19"铝合金平?/p>
3.探头?反射/透射测量均可)与光学系绞/p>
4.调节?/p>
5.支持软件(映射配方,等?、/span>
定位精度 | < 2 m |
分辨玆/span> | < 0.5 m |
驱动 | 步进电机 |
调节?/span> | 一体化平台 |
通讯 | 串口(RS232) |
尺寸 | 19 x 19 x 10 ( 6 8”阶? |
重量 | 12 kg |
硬件选项 | |
-150XYM | 6”x6 (150x150mm) XY电动平台 |
-200XYM | 8 x8?200x200mm) XY电动平台 |
-300XYM | 12x12?300x300mm) XY电动平台 |
-VAC | 真空夹盘(样品架通过一个电机泵插入微孔) |
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