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MaxMile LED 外延 EL/PL 联合测试系统
4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System
1、外延尺?**12 ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"
2、工作台尺寸(WDH):18"18"14" 18"18"14" 32"32"68" 57"32"68"
3、外延装载功能: manual manual manual/robot robot
4、装载盒数量 n/a n/a 1 up to 3
5、装载盒检测: n/a n/a yes yes
6、外延尺寸检测: n/a n/a yes yes
7、装载盒外延映射 n/a n/a yes yes
8、预对准 n/a n/a yes yes
9、外延片快速映射功能测试:
标准:EL(电致发光),PL(光致发光),EL / PL相结合,IV,反向特性,翘曲、/p>
可选:膜厚测试 ,GaN on Si特征,测试温度控制?
10、光谱检测范围:从紫外到近红外(默认?00nm?00nm(/p>
11、光谱分辨率?.5-2 nm,取决于光谱范围选择和系统配?/p>
12、测试项目:
1、电致发光Mapping9/p>
波长--WLP/WLD/WLC (峰??中心)波长,半高宽度、/p>
强度—辐?发光功率,转换效率、/p>
电流—正向电?电压,导通电压,反向漏电?电压,阈值电压,导通电阻,顶部电阻
正向漏电流,串接电阻,理想因子,等、/p>
2、光致发光:
波长—WLP/WLD/WLC (峰??中心)波长,半高宽度、/p>
强度—辐?发光功率,转换效率、/p>
3、IV特性Mapping9/p>
正向电流/电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻,等、/p>
4、其他特性Mapping9/p>
翘曲?/p>
薄膜厚度*
5、测试曲线类型:
特定驱动电流/电压的电致发光光谰/p>
光致发光谰/p>
LIV—电?发光强度 电压
输出强度 驱动电流
波长&半高宽 驱动电流
反向IV
6、CVD外延布局Mapping:
对于上述所有测试项目,无论mapping还是快速测试均可做布局国/p>
注意:软件可以客制化,可为客户特殊的器件参数做mapping国/p>
13、激发源:EL: Keithley 数字电源;PL:405nm标配,MaxMile配置其他激发源、/p>
14、EpiEL探针类型:Type I Type IA Type II Type IIA Type IIB Type IIC and GaN-on-Si
15、电流测试:>10 -12A
16、控制单元与操作系统:EpiEL内部电脑使用64位微软Windows7/8操作系统
17、采样点/采样步骤9/p>
1、电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由*终用户设置、/p>
2、光致发光采样点可以?终用户(高分辨率应用于高要求的应用,快速扫描可用于批量生产的质量控制、/p>
3、用户可自定测试点的布局、/p>
18、测试时间:每片外延片测试约0.5-12分钟,这取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置的不同之夃 光致发光选项扫描速度是每?多达50点、/p>
19、报告生成与数据展示:HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT
20、Mapping颜色编码:彩虹色,渐变色,二元色,温度,灰色,或任何由*终用户指定的颜色类型、/p>
21、电源:15A/110VAC 或是10A/220VAC?*电压(机器人系统需要真空、/p>
22、环境条仵温度 15 - 30 ,相对湿度:30 -70%无凝结、/p>
Epi-EL/PL联合测试系统
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