看了原子力显微镜主动减振?减震台的用户又看亅/p>
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原子力显微镜主动减振?减震?/strong>
品牌:HERZ
型号:AVI-600-XL
描述:AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。AVI系列可在宽频率范围内进行隔振,为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能、/span>
适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!
产品亮点
六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振 >200Hz被动隔振)
5-20ms响应时间
低频隔振性能优异,安装和使用简協/span>
系统主动检测输入振动并动态消
紧凑、模块化的多功能设计
稳定性高,能无故障连续使用多平/span>
无低频共振、无空气要求
应用范围
超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM(/span>
光刻工具
高精度计量工其/span>
光谱仪器
升级选项9/span>
可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸?.5Hz、/span>
技术参数:
型号:AVI-600XL/LP
系统配置:独立隔振装 & 控制装置
主动隔振范围:大致为1.0 Hz - 200 Hz
被动隔振范围:大致?00 Hz以上
显示屏信叶多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平
LEDs 指示输出阶段的过载情况、/span>
单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm
控制器尺寷448 x 286 x 143 Hmm
隔振单元重量: 34kg
负载能力:1200 kg (同等/低重?
输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC 50 - 60 Hz
功耗:通常27W
温度范围? - 40ℂ/span>
相对湿度?0 - 90 % (5 - 30 ??10 - 60 % (30 - 40 ?
室内/室外使用:仅用于室内
隔振效果9/span>
性能对比图:SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像: 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升、/span>
原子力显微镜主动减振?减震?/strong>
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