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它是可以对用于半导体工艺的混合气 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不纯物进行超高灵敏度、高精度 (*小检测感?0ppb) 连续检测的装置。由于采用了交替流动调制方式，可以和零气体不断比较的同时进行检测，所以没有零点漂移，能够获得长期稳定的检测值。由于它通过19英寸RACK方式进行了集中，所以系统升级也很容易?适于半导体气体制造设备的质量管理 、/p>
1分析?*可以搭载CO/CO2/CH4中的2种成分，2种成分可同时以数字形式显示浓度、/p>
采用了交替流动调制方式，没有零点漂移，可以获得长期稳定的连续检测值、/p>
不需要进行光学调整，维护性得到了提高、/p>
由于搭载有流?压力)异常、断路器(电磁阀)、失火报?GA-360E)、电源断开的自我诊断功能，所以能够迅速地在发生异常时采取措施、/p>
测量原理 |
GA-360E:交替流动调制方式非分散红外线分析泔/p> |
|---|---|
GA-360E |
交替流动调制方式火焰电离检验方泔/p> |
检测对象气佒/p> |
GA-360E:CO/CO2/CH4?*选取2种成刅/p> |
检测量稊/p> |
GA-360E:0?1/2/5/10ppm |
暂无数据
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