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自动平衡气垫精密光学平台
气垫隔振平台外形尺寸
1200800800mm
15001000800mm
18001000800mm
18001200800mm
20001200800mm
24001200800mm
气垫隔振平台性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎠/span>
振幅不大?um
固有频率不大?Hz
M6安装螺孔间距2525mm?050mm
平台表面材质采用高导磁不锈钢板面
有自动平衡和普通气垫平?秌/strong>
天津博君科技有限公司
，价格优惟/strong>
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