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先进皃/span>2D合成材料集成系统CVD
?/span>讽/span>夆/span>皃/span>事/span>维材料合成尺度从芯片到晶体，包括石墨烯，h-BN的合成，TMDCs不同衬底上采用气相或固相前驱体和有机金属（钼）、/span>
系统特点９/span>
快速加热和冷却的可移动电机控制的加热器?*（/span>
TCVD100平台：超迆/span>5年，全球100套系统的**性能表现
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