狭缝式涂�?Slot Die Coating)是一种高精密的涂布方式，不仅用于光学�?增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜�?、OLED涂布等，还可以用亍�strong>有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等成卷基材的涂布，也应用于非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布、�/span>

狭缝涂布技术适用于各种涂布液，可广泛应用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不锈钢和塑料基牆�/p>

涂布模具相对于基片高精度地运动，并高精度检测控制工艺流体及其涂布速度、�/p>

优势

可涂布不同粘度的各种材料

涂布厚度范围广泛:仍�span>20nm�?span>150��m以上

很好的涂布一致�?span>:通常优于��3%

效率髗�span>/材料利用率高:材料利用率可辽�span>95%

能够满足不同需求：从研发到小批量试制、大量生�?/p>

工艺具有高的可靠性和鲁棒�?span>:良率可达�?span>95%

适用亍�span>S2S咋�span>R2R加工模式

在一个工艺周期内可实现矩形阵列的涂布加工

过程参数

涂布间隙控制：高精度，动态控制涂布头高度(z轳�span>)

模具运动控制:在涂布方向上(x轳�span>)精确控制模具的运动轨迸�span>(包括加速和减速参�?span>)

模具设计:针对高一致性、化学兼容性、低充填容量� 条状涂布进行模具设计制速�/p>

涂布控制:涂布速率(稳态涂市�span>)和涂布轮廒�span> (前后边缘)的高精度数字化控刵�/p>

控制软件:所有配方参数，数据监控和反馈控制，数据采集分析、�/p>

应用领域

平板显示

LCD� OLED� Flexible� Touch Screen

LCD� OLED�柔性显礹�span>�触摸屎�/p>

太阳能光伎�/p>

PV including CIGS� CdTe� OPV and C-Si

固态照昍�/p>

OLED lighting

高附加值玻璂�/p>

可调光智能玻璂�span>�博物馆用玻璃

半导佒�span>�微机电系绞�span>�无线射频识别�聚合物电江�span>�� 各种月�/p>

机及打印电子器件