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TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范?nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对?00nm以上的薄膜,还可以测量n和k值、/p>
半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO?
LED (SiO2、光刻胶ITO等)
触摸?ITO AR Coating反射/穿透率测试?
汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)
医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等(/span>
型号 | TF200-VIS | TF200-EXR | TF200-DUV | TF200-XNIR |
波长范围 | 380-1050nm | 380-1700nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范围 | 50nm-40um | 50nm-300um | 1nm-30um | 10um-3mm |
准确?sup>1 | 2nm | 2nm | 1nm | 10nm |
精度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
入射觑/span> | 90ℂ/span> | 90ℂ/span> | 90ℂ/span> | 90ℂ/span> |
样品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
测量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
光斑尺寸2 | 2mm | 2mm | 2mm | 2mm |
是否能在纾/span> | ?/span> | ?/span> | ?/span> | ?/span> |
扫描选择 | XY可逈/span> | XY可逈/span> | XY可逈/span> | XY可逈/span> |
注:1.取决于材?.4%?nm之间取较大者、/span>
2.可选微光斑附件、/span>
暂无数据