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北京样本
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EMPro-PV用于测量绒面单晶硅或多晶硅太阳电池表面减反膜镀层的厚度以及?32.8nm下的折射率n。也可测量光滑平面材料上的单层或多层纳米薄膜的膜层厚度，以及?32.8nm下折射率n和消光系数k、/p>
EMPro-PV融合多项量拓科技**技术，采用一体化样品台技术，兼容测量单晶和多晶太阳电池样品，并实现二者的轻松转换。一键式多线程操作软件，使得仪器操作简单安全、/p>
EMPro-PV也可用于测量光滑平面基底上镀的纳米单层膜或双层膜，包括膜层的厚度，以及在632.8nm下的折射率n和消光系数k。也可用于测量块状材料（包括，液体、金属、半导体、介质等）在632.8nm下的折射率n和消光系数k。应用领域包括半导体、微电子、平板显示等、/p>
| 项目 | 技术指栆/td> |
| 仪器型号 | EMPro-PV |
| 版本叶/td> | 31 |
| 激光波镾/td> | 632.8nm (He-Ne Laser) |
| 膜厚测量重复?sup>?（/sup> | 0.01nm (对于平面Si基底?00nm的SiO2膜层) |
| 0.03nm (对于绒面Si基底?0nm的Si3N4膜层) | |
| 折射率精?sup>?（/sup> | 1x10-4(对于平面Si基底?00nm的SiO2膜层) |
| 3x10-4(对于绒面Si基底?0nm的Si3N4膜层) | |
| 单次测量时间 | 与测量设置相关，典型0.6s |
| 结构 | PSCA?#916;??80附近时也具有极高的准确度（/td> |
| 激光光束直徃/td> | 1mm |
| 入射角度 | 40-90可手动调节，步进5 |
| 样品方位调整 | 一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品； |
| 可测?56*156mm电池样品上每个点 | |
| Z轴高度调节：6.5mm | |
| 二维俯仰调节?#177;4 | |
| 样品对准：光学自准直显微和望远对准系绞/td> | |
| 样品台尺寷/td> | 平面样品直径可达170mm |
| 兼容125*125mm?56*156mm的太阳能电池样品 | |
| **的膜层测量范図/td> | 粗糙表面样品：与绒面物理结构及材料性质相关 |
| 光滑平面样品：透明薄膜可达4000nm，吸收薄膜与材料性质相关 | |
| **外形尺寸(长x宽x? | 887 x 332 x 552mm (入射角为90?? |
| 仪器重量（净重） | 25Kg |
| 选配仵/td> | 水平XY轴调节平移台 |
| 真空吸附泴/td> | |
| 软件 | ETEM软件９/td> |
| l 中英文界面可逈/td> | |
| l 太阳能电池样品预设项目供快捷操作使用 | |
| l 单角度测?多角度测量操作和数据拟合 | |
| l 方便的数据显示、编辑和输出 | |
| l 丰富的模型和材料数据库支?/td> |
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移动?/p>
工商已核宝/p>
