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多功能离子减薄仪EM RES102
Leica EM RES102 通过离子枪激发获得离子束,以一定入射角度对样品进行轰击,以去除样品表面原子,从而实现对样品的离子束加工、/span>
Leica EM RES102主要功能为:对无机薄片样品进行离子减薄,使得薄片样品可被透射电子穿过,从而适宜TEM透射电子显微镜观察;对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀,样品表面离子清洗及斜坡切割,便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息、/span>
* 具有2把离子枪,离子束能量?.8keV-10keV,相对位置,可分?#177;45倾斜,样品台倾斜角度-120 210,离子束加工角度0?0,样品平面摆动角?360 垂直摆动距离5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择(系统备有参考参数,也可自行设置参数并存储)
* 可选配样品台:TEM样品台(?3.0mm?2.3mm),FIB样品清洗台,SEM样品台,斜坡切割样品台(对样?5?0斜坡切割)等
* SEM样品台可容纳**样品尺寸:直?5mm,高?2mm
* 全无油真空系统,样品室带有预抽室,保证样品交换时闳1分钟
* 全电脑控制,触摸屏操作界面,内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程
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