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TERA Fab E系列是首台商业化光束笔光刺/span>(BPL)纳米加工系统 仪器使用多达两万支可独立编程笔阵刖/span> 每支笔尖都有相同尺寸小孔光阑来进行无掩膜光刻; 自定义软件允许研究人员在0.5x0.4平方厘米区域内快速精确拼接不同图彡/span> 且特征尺寸分辨率优于200纳米; 这个工具可以快速地制作电子和光学器仵/span> 制造光刻掩樠/span> 以及光化学研穵/span> 桌面式操作上手容昒/span> 无需无尘宣/span>; 更多应用及产品细节信息TERA中国区官方授权商:溢鑫科创、/span>
典型的应用包括:
*研究单个细胞
*使用DNA、蛋白质、肽或碳水化合物阵列
*微流控或微纳电子功能器件的制夆/span>
*图案化水凝胶
*高定域光化学
*合成和发现用于催化、光子学或治疗学应用的新纳米材料
*其他高密集高分辨的微纳米器件制速/span>
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