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SID4 UV-HR(紫外光)
基于相位?*技?/span> ?/span>190纳米?/span>400纳米波段+/span>SID4 UV-HR波前分析仪(在紫外光谱范围内)具有超高的分辨玆/span>(250 x250)和极高的灵敏?/span>(0.5 nm RMS)。因正/span>SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检浊/span>(镜头+/span>晶片…?
主要特点
.超高分辨率 25?#215;25//span>
.高灵敏度 0.5nl/span> RMS
.大型分析孔 8.?#215;8.0ml/span>
.可以直接对光学器件表面进行测野/span>
推荐用逓/span>
.紫外激光器:光束的测量和校止/span>
.光学:紫外线光学(半导体)测试和表面测量、/span>
SID4 UV-HR的详细规格
SID4 UV-HR | 单位 | 数据 |
波长范围 | nm | 190-400 |
框口尺寸 | mm^2 | 8.0*8.0 |
空间解析?/span> | Um | 32 |
相位和强度抽栶/span> | 250*250 | |
分辨玆/span> | nmRMS | 0.5 |
精密?/span> | nmRMS | 10 |
采集玆/span> | fps | >30 |
实时处理频率 | fps | 1 |
尺寸(w*h*l) | mm | 95*105*84 |
重量 | g | 900 |
暂无数据