看了椭圆偏光膜厚测试仪(自动)的用户又看亅/p>
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产品特点9/span>
? 椭圆偏振术测量紫外光到可见光波长椭圆参数、/span>
? 0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度测量、/span>
? 400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱、/span>
? 可自由变换反射测量角度,得到更详细的薄膜解析数据、/span>
? 非线?小平方法解析多层膜、光学常数、/span>
产品规格9/span>
膜厚测量范围 | 0.1nm~ |
波长测量范围 | 250~800nm(可选择350}/span>1000nm(/span> |
感光元件 | 光电二极管阵刖/span>512ch(电子制冷) |
入射/反射角度范围 | 45?0o |
电源规格 | AC1500VA(全自动? |
尺寸 | 1300'/span>H(/span>900'/span>D(/span>1750'/span>W(/span>mm |
重量 | ?50kg(全自动型) |
应用范围9/span>
■半导体晶圆?电晶体闸?Gate)氧化薄膜、氮化膜,电极材料等?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN?光阻剂光学常?波长色散)■化合物半导佒/span>?AlxGa (1-x) As多层膜、非结晶矼/span>■平面显示器?配向膛/span>?电浆显示器用ITO、MgO筈/span>■新材料?类钻碳薄?DLC?、超传导性薄膜、磁头薄膛/span>■光学薄膛/span>?TiO 2、SiO 2、多层膜、抗反射膜、反射膜■平版印刷领埞/span>?g?436nm)、h?405nm)、i?365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评件/span>
应用范例9/span>
非线?小平方法比对NIST标准样品(SiO 2)膜厚精度确认
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