看了膜厚测量仪的用户又看亅/p>
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产品特点9/span>
? 薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析、/span>
? 高性能的低价光学薄膜测量仪、/span>
? 藉由**反射率光谱分析膜厚、/span>
? 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能、/span>
? 无复杂设定,操作简单,短时间内即可上手、/span>
? 非线?小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)、/span>
产品规格9/span>
型号 | FE-300V | FE-300UV | FE-300NIR | |
对应膜厚 | 标准垊/span> | 薄膜垊/span> | 厚膜垊/span> | 超厚膜型 |
样品尺寸 | **8寸晶圆(厚度5mm(/span> | |||
膜厚范围 | 100nm~40m | 10nm~20m | 3m~30m | 15m~1.5mm |
波长范围 | 450nm~780nm | 300nm~800nm | 900nm~1600nm | 1470nm~1600nm |
膜厚精度 | 0.2nm以内 | 0.2nm以内 | - | - |
重复再现?2) | 0.1nm以内 | 0.1nm以内 | - | - |
测量时间 | 0.1s}/span>10s以内 | |||
测量口径 | ?/span>3mm | |||
光源 | 卤素?/span> | UV用D2?/span> | 卤素?/span> | 卤素?/span> |
通讯界面 | USB | |||
尺寸重量 | 280'/span>W(/span>570'/span>D(/span>350'/span>H(/span>mm,约24kg | |||
软件功能 | ||||
标准功能 | 波峰波谷解析、FFT解析?适化法解析?小二乘法解析 | |||
选配功能 | 材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析 |
应用范围9/span>
? 半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2?
? 光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
应用范例9/span>
? PET基板上的DLC膛/span>
? Si基板上的SiNx
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