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产品特点９/span>
?自由搭配的光纤架构，可安装于生产线上、半导体晶圆研磨设备或真空镀膜设备中、/span>
?远端同步控制、高速多点同步测量等、/span>
?丰富多样的光学系统套件与应用软件，提供特殊环境下*理想的膜厚解决方案、/span>
产品架构９/span>
?半导体晶圆面内分市/span>测量
?玻璃基板面内分布测量
?即时性量浊/span>
?输送方向的定点品质管理
?对应真空环境之设夆/span>
?即时?/span>测量
?输送方向的全面品质管理
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