WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命� 瞬态光电导衰减法（PCD）和荧光方法两种互为补充。操作和使用起来和WCT120一样方便、�/p>

wct-120pl系统能力

主要应用９�/span>

通过使用QSSPC戕�/span>短暂的寿命测野�/span>咋�/span>PL测量制速�/span>过程监控咋�/span>优化步骤、�/span>

其它功能９�/span>

?初始材料（硅片）质量监控

?（硅片）加工过程�?/span>皃�/span>重金属污柒�/span>晶圆检浊�/span>

?评价表面钝化和发射极的掺杂剂扩散

?使用隐含皃�/span>VOC测量来查找生产过程引入的漏电因素

?迭代计算qsspl咋�/span>QSSPC数据得到衬底掺杂情况

上图是wct-120pl得到的一�?/span>校准皃�/span>荧光寿命曲线与一�?/span>校准皃�/span>QSSPC寿命曲线产生寿命数据皃�/span>载流子密度对照曲纾�/span>、�/span>

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