接触电阻率测量仪 TLM

这款紧凑型仪器测量成品太阳能电池的接触电阻率，手指线电阻，手指宽度和手指高度，或者测试结构、�/p>

通过在所有轴上电动化，可以通过按一个按钮来创建所有这些方法的地图、�/p>

用于测量薄扩散层的薄层电阻和晶圆电阻率的四点探头，使得TLM-SCAN 成为一种低成本，快速，高质量的四点探针贴图仪、�/p>

使操作更简单的功能９�/p>

自动位置校正以获�?*接触质量

盖子关闭时自动启�?/p>

自动采样编号

软件探头识别

精确的导航与欢乐棒和显微镜相朹�/p>

通过点击图像来探测定位和重新测量单点

一个样品上多个TLM测试图案的批处理模式

序列模式通过按一个按钮来测量接触电阻率和手指几何图形的映尃�/p>

TLM-SCAN+

接触电阻率测量及更多

方法９�/span>

接触电阻玆�/span>

手指线电阻率

手指宽度与显微镜

与表面轮廓仪的手指高�?/span>

采用四点探针的晶圆电阻率

带四点探头的薄层电阻

强调９�/span>

可调TLM採�/span>夳�/span>

覆盖整个太阳能电江�/span>

查克14条带独立真空杠�/span>纸�span>

TLM-SCAN

接触电阻率映尃�strong>

采用合适的测试结构的传输长度方法是测量前端金属化接触电阻的*准确方法、�/span>然而，接触电阻可能在太阳能电池上显着变化，使得在成品太阳能电池上测量它的空间分辨方法是必要的、�/span>TLM-SCAN创建了用激光或切割锯切割成条纹的太阳能电池的接触电阻率的映尃�/span>、�/span>

特别决议９�/span>

所有结果在整个太阳能电池上的映尃�/span>

单指分辨玆�/span>

快速：

在一秒内测量8个针对之间的所有组吇�/span>、�/span>

使用方便９�/span>

出色的重复性：在同一条纹上测量接触电阺�/span>14欠�/span>、�/span>

mWcm2

灵活９�/span>

• 用于传统TLM测试图案和成品太阳能电池以及线路电阻的各种探夳�/span>、�/span>

• 与其他测量结合使�?/span>

• 支持选择性发射器

精确９�/span>

• 分辨率通常丹�/span>0.2mWcm2

• 报道了不确定性倻�/span>

• 更正分流

• 正确解释中间手指

• 针检�?/span>无视四线接触设置无效的手挆�/span>

• 没有光线相关的文�?/span>

• 没有连接到继电器矩阵的可靠性问颗�/span>

• 在几秒内更换探头

• 存储在配方中的所有设�?/span>

• 自动位置校正以获�?*接触质量

• 盖子关闭时自动启�?/span>

• 探头由软件识�?/span>

• 一个样品上多个TLM测试图案的批处理樠�/span>弎�/span>

以激情设计：

• 点击图像定位和重新测量单炸�/span>

• 精确的游戏杆位置控制

• 机器上的功能按钮和自动编号可以在不触�?/span>PC的情况下进行擌�/span>佛�/span>

• 评估并重新评估其仕�/span>PC上的数据库测量结枛�/span>