产地：美国；

型号９�/span>CAPOS：�/span>

通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为�?/span>蒸发镀膛�/span>，热蒸发镀膛�/span>技术是历史*悠久皃�/span>PVD镀膜技术之一、�/span>�?/span>蒸发镀膜机一�?/span>主要用于蒸发Cd�?/span>Pb�?/span>Ag�?/span>Al�?/span>Cu�?/span>Cr�?/span>Au�?/span>Ni等材斘�/span>。以下为蒸发镀膜设备的示意图、�/span>

技术规格特点：

-基底尺寸�?英寸�?英寸�?英寸：�/span>

-基底旋转�?~10rpm：�/span>

-热蒸发源�?英寸�?英寸热蒸发舟，交流电源；

-腔体：铝合金或不锈钢材料可供客户选择，不同尺寸的箱式腔室可选；

-泵：机械泵，扩散泵或者分子泵，供客户选择：�/span>

-Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底；

-工艺控制９�/span>PC/PLC机制的自动控制，使用GUI进行工艺控制、数据处理、远程支持；

-原位监控：石英晶振监浊�/span>(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制：�/span>

-衬底固定：单衬底固定，多衬底固定，行星式衬底固定，客户化衬底固定方式：�/span>

-衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；