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磁控溅射镀膜机 - 紧凑，适合科研，极高性价比！
型号：AP-MMS1
产地：韩国原装进叢/p>
仪器特点９/strong>
1/ 沉积材料：金属、氧化物等；
2/ 膜厚均匀性： 5 % (4英寸基底)：/p>
3/ 沉积方式：直流磁控溅射，射频磁控溅射：/p>
4/ 极限真空?.0 x 10-6Torr：/p>
技术规格：
1/ **样品尺寸?英寸：/p>
2/ 基底旋转?~10rpm：/p>
3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm：/p>
4/ 真空泵：机械泵，150L/Min：/p>
5/ 靶枪?英寸直径 (选配?英寸)：/p>
6/ 直流电源?KW(800V - 2.5A)：/p>
7/ 气体传输模块：MFC控制，氩气，100sccm：/p>
暂无数据
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