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技术规格：
1.面电阻量测范围：1 m/sq. to 2 M/sq.(或更髗/span>)
2.样品尺寸：支?/span>10mm臲/span>300mm wafer
3.量测系统包括９/span>Jandel RM3000测试单元
4.测试精度９/span>0.05% at 23ℂ/span>
5.温度可变范围９/span>-100ℂ/span>~ 200ℂ/span>
6.软件操作简单可以支?/span>with Windows XP Windows 7戕/span>Windows 8操作系统＋/span>USB2.0戕/span>USB3.0接口
7.可选择量测晶圆三/span>1 5 9 25 49 or 121个测试点或者自定义量测国/span>
8.可绘刵/span>2D咋/span>3D数据结果国/span>
9.输出电阻，电阻率和厚度等量测结果
10.系统支持JANDEL探测头，插入式更换，操作简協/span>
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
