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技术规格：
1.支持**晶圆尺寸９/span>300mm
2. X-Y轴移动重复性：+/-1.5mm
3. X-Y轴移动分辨率９/span>5mm
4. X-Y轴移动速率９/span>50mm/s
5. Z轴移动重复性：+/-1mm，移动分辨率９/span>1mm
6. Z轴移动速率９/span>10mm/s
7.显微镜分辨率９/span>4mm
8.可测试温度：RT~200ℂ/span>
9.迈锐软件，全自动控制平台移动、/span>
暂无数据
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