RTP-100/150快速退火炉为德国优尼坦公司生产，分为RTP-100� RTP-150� RSO-200，VPO-300共四个型号，分别对应4英寸�?英寸�?英寸�?2英寸的真空快速退火炉产品、�/p>

技术规格：

- **温度�?200摄氏度；

- 升温速率�?50摄氏�?秒；

- 降温速度�?00摄氏�?分钟 (1000摄氏�?->400摄氏�?：�/p>

- 温控均匀性：� 1.5%设定温度：�/p>

- 加热方式：红外卤素灯，顶部及底部加热：�/p>

- 灯管数量及功率：18�?20千瓦(RTP-100)�?4�?21千瓦(RTP-150)：�/p>

- 腔体冷却：水冷方式；

- 衬底冷却：氮气吹扫；

- 工艺气路：MFC控制�?�?� (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气�?：�/p>

- 主机尺寸及重量：505mm x 504mm x 420mm (W x D x H)，约55Kg：�/p>

仪器特点９�/span>

- 真空快速退火炉，有低真空型�?10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa)：�/p>

- 可在不同气氛环境下使用，如惰性气体、氧气、氢氮混合气等；

- 控制方式：SIMATIC� SPS人机界面控制�?英寸触摸屏；

- 可存�?0个程序，每个程序*多分�?0段控制；

- 全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置：�/p>

- 优异的温控均匀性，**的工艺重现性；

- 小尺寸台式设计；

应用领域９�/span>

- 离子注入/接触退火；

- 快速热处理(RTP)，快速退�?RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)：�/p>

- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用：�/p>

- SiAu� SiAl� SiMo合金化；

- 低介电材料；

- 晶体化，致密化；

- 太阳能电池片键合：�/p>

等等...

参考客户：

西安交通大学、西安电子科技大学、中国科技大学、江汉大学、中科院上海技术物理所、中科院苏州纳米所、北京航天仪器研究所、京东方、武汉光迅、能华微电子等、�/p>