看了磁控溅射?靶枪?英寸/2英寸/3英寸)的用户又看亅/p>
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技术参数:我们提供多种口径的圆形平面靶枪,尺寸1" 2" and 3". 以及矩形靶枪
安装法兰口径:NW63CF,NW100CF
真空腔体内长度范围:150-400mm
真空腔体内端面直径:60-96
靶材直径 1" 2" and 3"
靶材**厚度?-6mm
冷却:水冶/p>
特点9/p>
100%超高真空(UHV)应?/p>
独有的放射性沉积模弎/p>
在线Z轴驱动及倾斜
水冷时不会存在水汼/p>
平衡靶和非平衡靶设计
高强度磁体应用于磁性材斘/p>
应用领域9/p>
PVD沉积
金属涂层
纳米结构薄膜
多层镀屁/p>
反应溅射
射频溅射,直流溅射,脉冲直流溅射
硬质涂层
暂无数据