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高温充氮无氧烘箱烤箱干燥箱氧含量监测
高温充氮无氧烘箱干燥箱烤箰/span>
高温充氮无氧烘箱
主要用于光刻胶固化、精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,参考国外同类产品技术研发的无氧烤箱、/span>
主要特点9/span>
1.选用全陶瓷纤维保温,升温快、节能环保、/span>
2.独特的送风、排风系统,确保炉内温度均匀、/span>
3.吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求、/span>
一、技术参数:
规格型号9span>TWY-100
1.1使用温度9span>RT}span>400ℂ/span>戕span>450ℂ/span>?00~500度(水冷保护(/span>
1.2炉膛尺寸≥:450450500mm'span>WDH),单腔佒/span>
1.3炉膛材料9span>SUS304无磁性镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶:
1.4空炉升温时间:约1.5h;空炉降温时间:300?50ℂ/span>降温时间1.5-3.5小时(采用水冷翅片散热器,即水冷保护装?span>):span> 1.5氧含量分析仪:无纸记录仪(上海英盛)、/span>
1.6温度控制器:RKC仪表
1.7温度过冲:约8-10ℂ/span>;温度分布:5?8ℂ/span>,一个测温点
1.8温度偏差?#177;5?8ℂ/span>
1.9鼓氮流量(标准):开始时200L流量计,后面保持120L流量计,分别对应两个流量计(240L?20L(/span>
二、氧含量(配氧分析仪):会根据不同的氧含量浓度配流量讠/span>
2.1氧含量浓度: 100ppm?span> 50ppm; 20ppm
2.2控温稳定度:1ℂ/span>;温度均匀度:2.5%:/span>
三、控制输凹span>:
3.1控温仪表9span>RKC温控仪表:/span>
3.2控制:炉腔单独控温、通气、报警保护;
3.3控温段数9span>410段;控温点数9span>2点;
3.4超温报警点数9span>2点;检测点数:2点;
3.5报警保护:超温、断偶等声光报警保护;超温保护:独立感温式超温保护器;电机保护:电机过电流、水冷保护; 表面温升:<30ℂ/span>:/span>
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