专为超大纳米平板扫描器测量而设计的自动化原子力显微镜系绞�/p>

随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战、�/p>

Park NX-TSH能获得关于表面粗糙度，台阶高度，关键尺寸和侧壁信息的高分辨率图像和数据，从而为大型纳米级尺寸样品测量提�?*解决方案、�/p>

Park NX-TSH的全自动特点:

? 可灵活掌握自动，半自动和手动模式

? 为每个自动化程序提供可编辑测量方泔�/p>

? 实时监控测量过程

? 自动分析获取测量数据

- 自动换针器（ATX（�/p>

ATX通过模式识别自动定位探针，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准、�/span>

-电离系统可提供更稳定的扫描环墂�/p>

Park创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个极其稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且将在样品处理过程中产品意外静电的风险降�?低、�/span>

Park NX-TSH技术参数：

*本技术参数是可定制的。可咨询Park原子力显微镜，以获取更多信息、�/span>

系统技术参数：

样品尺寸� 520 mm X 520 mm X12 mm� 10kg

电动式X方向载物台：行程可达625 mm＋�/span>��3 ��m分辨玆�/span>

电动式Y方向载物台：行程可达525 mm＋�/span>��3 ��m分辨玆�/span>

电动式Z方向载物台：Z轴移动距离为25 mm�0.08 ��m分辨率，重复�?/span><1��m

电动弎�/span>对焦台：Z轴行进光学距离为9 mm

COGNEX图案识别９�/span>图案校对分辨率为1/4像素

扫描器性能９�/span>

XY扫描范围９�/span>100��m��100��m

XY分辨率：0.15nm

Z扫描范围�?5��m

Z分辨率：0.016nm

AFM和XY移动平台控制�?/p>

ADC９�/span>18个频道，4个高速通道＋�/span>X＋�/span>Y咋�/span>Z位置传感�?/span>(24-佌�/span>ADC)

DAC:12个频道，2个高逞�/span>DAC通道＋�/span>X＋�/span>Y咋�/span>Z的定佌�/span>(20-bitDAC)

合规

CE认证９�/span>SEMI S2 /S8标准

设施要求

待机宣�/span>温：10��C?40��C

工作宣�/span>温：18��C?24��C

湿度９�/span>30％至60％（不凝结）

地板振动要求９�/span>VC-E＇�/span>3微米/秒）

噪音９�/span>低于65 dB

气动式：真空度：-80 kPa

CDA（或N2）：0.7 Mpa

电源额定值：208V-240 V，单相，17 A�?*（�/span>

总耗电量：咨询Park原子力显微镜

接地电阻９�/span>低于100欧姆