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FT-3110系列全自动四探针测试?/strong>
一.功能描述９/span>
四点探针法，全自动化运行测量系统＋/span>PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测野/span>模式选择；真空环境，可显示：方阻、电阻率?/span>显示2D?D扫描/数值图?/span>温湿度值?/span>提供标准校准电阻仵/span>.报表输出数据统计分析.
事/span>.适用范围
晶圆?/span>非晶硄/span>/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等：/span>半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏筈/span>.
丈/span>.技术参数：
规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B |
1.电阻 |
10^-5?10^5 |
10^-6?10^5 |
2.方块电阻 |
10^-5?10^5/■/span> |
10^-6?10^5/■/span> |
3.电阻玆/span> |
10^-6?10^6-cm |
10-7?106-cm |
4.测试电流 |
0.1A.A.0A?00A?mA＋/span> 10mA?00mA |
1A?/span>100mA?/span>10mA?/span>1mA?/span>100uA?/span>10uA?/span>1uA?/span>0.1uA |
5.电流精度 |
0.1% |
|
6.电阻精度 |
?.3% |
|
7.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚 ?/span>2D?D图谱?/span>压力?/span> 报表生成筈/span> |
|
8.压力范围９/span> |
探针压力可调范围：软件控制，100-500g可调 |
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9.採/span>钇/span> |
针间绝缘电阻：≥1000M；机械游移率：≤0.3% 圆头铛/span>镀釐/span>材质＋/span>探针间距1mm?mm?mm选配＋/span>其他规格可定刵/span> |
|
10.可测晶片 尺寸选购 |
晶圆尺寸?-12寷/span>＇/span>6寷/span>150mm＋/span>12寷/span>300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm ?25mm X 125mm |
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11.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
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12.加压方式 |
测量重复性：重复性≤3% |
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13.安全防护 |
具有限位量程和压力保抣误操作和急停防护;异常警报 |
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14.测试环境 |
真空 |
|
15.电源 |
输入: AC 220V10%.50Hz 耗：<100W |
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16.选购项目 |
电脑和打印机 |
|
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
