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FT-3120 系列半自动四探针测试?/strong>
一.功能描述9/span>
四点探针标准测试方法,采用步进系统自动控制探头与样品接触,减少人为因素对测试结果的影响;参照A.S.T.M 标准;测量方块电阻、电阻率、电导率数据?/span>PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式,同一位置的重复测试或多点的面电阻测量+/span>报表输出数据统计分析;提供标准校准电阻件.
事/span>.适用范围9/span>
晶圆?/span>非晶硄/span>/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等:/span>半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏筈/span>.
丈/span>.技术参数:
规格型号 | FT-3120A | FT-3120B | FT-3120C | FT-3120D |
1.电阻 | 10^-3?10^4 | 10^-5?10^5 | 10^-6?10^5 | 10-4?107 |
2.方块电阻 | 10^-3?10^4/■/span> | 10^-5?10^5/■/span> | 10^-6?10^5/■/span> | 10-4?107/■/span> |
3.电阻玆/span> | 10^-4?10^5-cm | 10^-6?10^6-cm | 10-7?106-cm | 10-5?108-cm |
4.测试电流 | 0.1A.A.0A?00A?mA+/span> 10mA?00mA | 1A?00mA?0mA?mA?00uA?0uA?uA?.1uA | 10mA ---200pA | |
5.电流精度 | 0.1% | 2% | ||
6.电阻精度 | ?.3% | ?0% | ||
7.PC软件操作 | PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚 ?/span>数据管理分析:过程数据,大、小值,均值,方差,变异系数,样品编号,测试点数统讠/span>报表生成筈/span> | |||
8.探针范围9/span> | 探针压力?00-550g;依据样品接触需要手动调芁/span> | |||
9.採/span>钇/span> | 针间绝缘电阻:≥1000M;机械游移率:≤0.3% 圆头铛/span>镀釐/span>材质+/span>探针间距1mm?mm?mm选配+/span>其他规格可定刵/span> | |||
10.可测晶片 尺寸选购 | 晶圆尺寸?-12寷/span>'/span>6寷/span>150mm+/span>12寷/span>300mm); 方形片:大至156mm X 156mm ?25mm X 125mm | |||
11.分析模式 | 自动或手?/span>单点模式 | |||
12.加压方式 | 测量重复性:重复性≤3% | |||
13.安全防护 | 具有限位量程和压力保抣误操作和急停防护;异常警报 | |||
14.测试环境 | 实验室环墂/span> | |||
15.电源 | 输入: AC 220V10%.50Hz 耗:<100W | |||
16.选购项目 | 电脑和打印机 |
暂无数据