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FT-3110系列全自动四探针测试?/strong>
一.功能描述9/span>
四点探针法,全自动化运行测量系统+/span>PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测野/span>模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率?/span>显示2D?D扫描/数值图?/span>温湿度值?/span>提供标准校准电阻仵/span>. 报表输出数据统计分析.
FT-3110系列全自动四探针测试?/strong>
事/span>.适用范围
晶圆?/span>非晶硄/span>/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等:/span>半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏筈/span>.
FT-3110系列全自动四探针测试?/strong>
丈/span>.技术参数:
规格型号 | FT-3110A | FT-3110B |
1.电阻 | 10^-5?10^5 | 10^-6?10^5 |
2.方块电阻 | 10^-5?10^5/■/span> | 10^-6?10^5/■/span> |
3.电阻玆/span> | 10^-6?10^6-cm | 10-7?106-cm |
4.测试电流 | 0.1A.A.0A?00A?mA+/span> 10mA?00mA | 1A?/span>100mA?/span>10mA?/span>1mA?/span>100uA?/span>10uA?/span>1uA?/span>0.1uA |
5.电流精度 | 0.1% | |
6.电阻精度 | ?.3% | |
7.PC软件操作 | PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚 ?/span>2D?D图谱?/span>压力?/span> 报表生成筈/span> | |
8.压力范围9/span> | 探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调 | |
9.採/span>钇/span> | 针间绝缘电阻:≥1000M;机械游移率:≤0.3% 圆头铛/span>镀釐/span>材质+/span>探针间距1mm?mm?mm选配+/span>其他规格可定刵/span> | |
10.可测晶片 尺寸选购 | 晶圆尺寸?-12寷/span>'/span>6寷/span>150mm+/span>12寷/span>300mm); 方形片:大至156mm X 156mm ?25mm X 125mm | |
11.分析模式 | 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 | |
12.加压方式 | 测量重复性:重复性≤3% | |
13.安全防护 | 具有限位量程和压力保抣误操作和急停防护;异常警报 | |
14.测试环境 | 真空 | |
15.电源 | 输入: AC 220V10%.50Hz 耗:<100W | |
16.选购项目 | 电脑和打印机 |
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