微波材料学工作站--微波能化学气相沉积系绞�/span>

主要用途：

主要为应用在半导佒�/span>＋�/span>大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域

产品特点９�/span>

☄�/span>操作便捷：气路连接方式采用了KF快速连接法兰结构，使取放物料过程简化，只需一支卡箍便可完成气路连接，方便操作，取消了复杂的法兰安装过程，减少了安装造成的损坎�/span>

☄�/span>多功能：3种加热方式可选可变：纯微波、传统电加热、混合加热；适应包括金属与合金在内非易燃的任何样品的热处琅�/span>

☄�/span>**开发的微波场专用传感器，精准控�?/span>

☄�/span>安全９�/span>**采用防止泄漏的四级联锁的保护屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔体设计，多重防泄漏保抣�/span>

*标配装有专业微波抑制�?/span>

*内置微波泄漏传感�?/span>

☄�/span>节能９�/span>使用寿命长：磁控管微波加热，避免和解决了传统的加热丝、硅碳棒、硅钼棒等加热元件容易损坏的问题，也避免了因加热元件损坏而造成的时间、实验进度、维修费用等各种损失

☄�/span>采用无级可调、高稳定度长寿命�?/span>连续泡�/span>微波溏�/span>，确保设备能够连续稳定长时间运行

☄�/span>嵌入式微机一体化温度控制系统：�/span>实现稳定性控�?/span>

☄�/span>无须烘炉过程：炉腔整体自身发热，加热均匀

☄�/span>微波能量即开即有＋�/span>无热惯�?/span>＋�/span>易于控制温度

☄�/span>炉体配有自动冷却风扇

☄�/span>保护管采用耐高温合金管，气管采用卡套或VCR接口，安装简侾�/span>

☄�/span>配有万向轮调节底脚，方便移动和固宙�/span>

选配功能９�/span>

1.多温区独立加热模块：型号后面加Ｄ　　　

◅�/span>多个不同温区独立加热、独立控制，（标酌�/span>2个温区）

◆两个以上温区可额外选配

◆通常用于高温下气相或挥发分参与的材料合成

◅�/span>加热区、恒温区长度均可调、�/span>

2.可根据用户需求定制立式或其他尺寸

技术参数：

型号/model	WBQXCJ-4
可加热材斘�/span>	非易燃易爆的任何材料
微波频率	2.45GHZ��50MHz
加热方式	纯微波加热、传统电加热、混合加�?/span>
**功率/ KW(连续、可谂�/span>)	4
样品腔尺寷�/span>/mm	标配��45mm；长�?/span>1200mm。可根据用户需求定刵�/span>
样品腓�/span>(材质)	石英箠�/span>	刚玉箠�/span>
控温范围/ℂ�/span>	室温-1200ℂ�/span>	室温-1500ℂ�/span>
温度测试元件	微波场专用传感器
温度分辨玆�/span>/ℂ�/span>	0.1
控温精度/ℂ�/span>	1200℃以�?#177;1：�/span>1200℃以�?#177;2ℂ�/span>
温度偏差/ℂ�/span>
温度稳定波动�?/span>/ℂ�/span>
冷却方式	标配风冷（可选配水冷（�/span>
恒温区长�?/span>/mm	标配100可根据用户需求定刵�/span>
升温速率(标配)	0｝�/span>200ℂ�/span>/min 任意设定，可编程、分段加�?/span>
温度控制方式	10段可设工艺参数，7寸触摸屏操作，带数据存储功能；提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示
控制气体	控制气体９�/span>H2�?/span>CH4�?/span>Ar�?/span>N 2、其它气体可逈�/span>
流量控制	标配2套质量流量控制器：七星华创（真空保护阀门后置，匹配真空模式）；精度９�/span>0.8%
**耐压	1MPa；控制响应时间：10ms
真空系统真空泴�/span>	RVP2008；压力范围：10-3Torr~760 Torr **抽速：8.5 m3/h
真空讠�/span>	数显真空计：1atm-10-1Pa
标配	质量流量自动控制系统配备控制计算机及控制软件，可以内置实时显示和保存生长参数
气路其他配置	气柜、气路及阀门等
端口	不锈钡�/span>KF50法兰接口
电源电压＇�/span>V（�/span>	220
微波泄漏野�/span>/mW/㎜�/span>2	≣�/span>0.4
外型尺寸（长‱�/span>宼�/span>‱�/span>高）/mm	1500��750��1550