微波材料学工作站--微波等离子化学气相沉积系绞�/span>

主要用途：

☄�/span>该系统既可用作传统的化学气相沉积设备，又可用作微波能化学气相沉积设备，同时又是微波等离子化学气相沉积设备

☄�/span>主要为应用在半导佒�/span>＋�/span>大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域

☄�/span>该款具有高电离、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等优异性能，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰［3］、纳米粉体合成、处理水污染等领埞�/span>

产品特点９�/span>

☄�/span>垂直反应器的设计可使等离子高密度；对称的微波发生器装置，使产生的等离子环境更均匀

☄�/span>谐振腔内没有内部电极，可以避免电极放电所产生的污染，而且，它的运行气压范围比较宽，所产生等离子体密度高、区域大，稳定性高，且不与真空器接触，从而避免了器壁对薄膜的污染

☄�/span>操作便捷：气路连接方式采用了KF快速连接法兰结构，使取放物料过程简化，只需一支卡箍便可完成气路连接，方便操作，取消了复杂的法兰安装过程，减少了安装造成的损坎�/span>

☄�/span>多功能：4种加热方式可选可变：微波等离子、纯微波、传统电加热、混合加热；适应包括金属与合金在内非易燃的任何样品的热处琅�/span>

☄�/span>双温区结构：上部等离子区或加热区下部样品台加热区

☄�/span>**开发的微波场专用传感器，精准控�?/span>

☄�/span>安全９�/span>**采用防止泄漏的联锁保护屏蔽措於�/span>安全可靠的微波屏蔽腔体设计，多重防泄漏保抣�/span>

*标配装有专业微波抑制�?/span>

*内置微波泄漏传感�?/span>

☄�/span>节能９�/span>使用寿命长：磁控管微波加热，避免和解决了传统的加热丝、硅碳棒、硅钼棒等加热元件容易损坏的问题，也避免了因加热元件损坏而造成的时间、实验进度、维修费用等各种损失

☄�/span>采用无级可调、高稳定度长寿命�?/span>连续泡�/span>微波溏�/span>，确保设备能够连续稳定长时间运行

☄�/span>嵌入式微机一体化温度控制系统：�/span>实现稳定性控�?/span>

☄�/span>无须烘炉过程：炉腔整体自身发热，加热均匀

☄�/span>微波能量即开即有＋�/span>无热惯�?/span>＋�/span>易于控制温度

☄�/span>配有万向轮调节底脚，方便移动和固宙�/span>

技术参数：

型号/model	WBDQC-4
可加热材斘�/span>	非易燃易爆的任何材料
微波频率	2.45GHZ��50MHz
加热方式	等离子加热、纯微波加热、传统电加热、混合加�?/span>
**功率/ KW(连续、可谂�/span>)	4
样品腔长�?/span>	标配100mm可根据用户需求订刵�/span>
加热样品腓�/span>(材质)	石英管（微波等离子工作模式）	石英箠�/span>&刚玉管（其它加热方式（�/span>
控温范围/ℂ�/span>	1100℃石英样品腔直径�?#934;45mm�?#934;60mm�?#934;100 mm可选；	1500℃刚玉样品腔直径�?#934;45mm�?#934;60mm可选；
温度测试元件	微波场专用传感器
温度分辨玆�/span>/ℂ�/span>	0.1
样品�?*温度范围	室温-1200℃、更高温度可选配
控温精度/ℂ�/span>	1200℃以�?#177;1：�/span>1200℃以�?#177;2ℂ�/span>
温度偏差/ℂ�/span>
温度稳定波动�?/span>/ℂ�/span>
冷却方式	风冷
恒温区长�?/span>/mm	标配100mm可根据用户需求订刵�/span>
升温速率(标配)	0｝�/span>200ℂ�/span>/min（微波等离子工作模式除外（�/span> 任意设定，可编程、分段加�?/span>
温度控制方式	10段可设工艺参数，7寸触摸屏操作，带数据存储功能；提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示
控制气体	控制气体９�/span>H2�?/span>CH4�?/span>Ar�?/span>N 2、其它气体可逈�/span>
流量控制	标配2套质量流量控制器：七星华创（真空保护阀门后置，匹配真空模式）；精度９�/span>0.8%
**耐压	1MPa；控制响应时间：10ms
真空系统真空泴�/span>	RVP2008；压力范围：10-3Torr~760 Torr **抽速：8.5m3/h
真空讠�/span>	数显真空计：1atm-10-1Pa
标配	质量流量自动控制系统配备控制计算机及控制软件，可以内置实时显示和保存生长参数
气路其他配置	气柜、气路及阀门等
端口	不锈钡�/span>KF50法兰接口
电源电压＇�/span>V（�/span>	220
微波泄漏野�/span>/ mW/㎜�/span>2	≣�/span>0.4
外型尺寸（长‱�/span>宼�/span>‱�/span>高）/mm	1100��750��1900

选配功能９�/span>

质量流量控制系统；美囼�/span>Alicat质量流量&控制�?/span>