匀胶机，旋涂仪，甩胶机，EZ8，安赛斯，美国进叢�/span>

根据可旋涂尺寸大小，有EZ4，EZ6，EZ8，EZ12等多个产品系列，产品详情请登录安赛斯（中国）有限公司官网查询、�/span>

产品介绍９�/span>

名称９�/span>高精密匀胶机

型号：SC100-SE

产地９�/span>

应用９�/span>在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关、�/span>

产品描述９�/span>

Smart Coater?精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性、�/span>　　不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用不�/span>track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中**�?*达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性、�/span>

性能指标９�/span>

��主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

��旋涂程序�?多可字�/span>100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1科�/span>

��转动速度９�/span>0-10�?00rpm（更高速可选）

��旋涂加速度９�/span>0-50�?00rpm/sec（空载）

��马达旋涂转速稳定性能误差< ��1rpm

��转速调节精�?/span><1rpm，重复�?/span>< 1rpm

��工艺时间设定９�/span>0-3�?00 sec/step，时间设置精度：0.1sec

��支持wafer尺寸25px-200mm＇�/span>8“�/span>圆晶（�/span>

��旋涂作业均匀性：< ��3%�?/span>6英寸范围内（需要去除边缗�/span>3毫米区域测量（�/span>

产品优点９�/span>

��**的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸�

��7"触屏控制面板操作系统，更方便操作�

��Telon ?/polyethylene“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺�

��标准配置转�?0000rpm，并可根据用户需要进行定制、�/span>

��采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部�

��机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗�

��排风和抽气系统位计于载片台之底部＇�/span>以利于排风效率和匀胶均一�?/span>（�/span>�

��透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发、�/span>

产品外型尺寸９�/span>

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) � 标准设备结构

　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) � 可选分体结�

匀胶机，旋涂仪，甩胶机，EZ8，安赛斯，美国进叢�/span>

根据可旋涂尺寸大小，有EZ4，EZ6，EZ8，EZ12等多个产品系列，产品详情请登录安赛斯（中国）有限公司官网查询、�/span>