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NANO-MASTER(那诺-马斯?NOC-4000光学涂覆系统提供***的技术,系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动?下载片功能。在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空、/p>
产品应用9/strong>
光学涂层
溅射
IBAD离子束辅助沉?/p>
离子束刻蚀清洗
离子束辅助反应刻蚀
红外涂层
表面处理
产品特点9/strong>
RF射频偏压样品?/p>
膜厚监测?/p>
极限真空5x10-7Torr
高精度及高重复?/p>
高品质膜屁/p>
原子级的洁净表面
原子级清洗和抛光
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
自动上下载片
两个腔体之间自动传?/p>
菜单驱动?级密码访问保抣/p>
完整的安全联?/p>
占地面积46”D x 44”W
选配项:
向下/向上溅射
共溅尃/p>
DC,RF以及脉冲电源
离子束辅助沉?/p>
电子束源
等离子源
暂无数据