等离子辅助MOCVD技�?/strong>

NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统概述：NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD)，该系统具有5个鼓泡装�?各带独立的冷却槽)、加热的气体管路�?50度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗�?50l/sec涡轮分子泵及无油真空�?5 x 10^-7Torr极限真空)、PC全自动控制，完全的安全互锁、�/span>

目前，这项技术延伸到5�?"晶圆的立柜式独立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求、�/span>

NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统应用：Green LED’s (GaN� InGaN� AlGaN� ...)

NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统特点９�/span>

• 独立系统

• 14“�/span>不锈钢立方体腔体

• 1次在8“�/span>样品台上处理1�?/span>6“�/span>晶圆片或�?/span>12“�/span>样品台上处理5牆�/span>4“�/span>片子

• 加热的气体管�?/span>

• RF等离子源，自动调谏�/span>

• 淋浴头气体分市�/span>

• 1100��C的旋转样品台

• N2冲洗

• 全自动上下载牆�/span>

• 可以兼容到集群配置中

NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统Features９�/span>

• Stand Alone System

• 14� Stainless Steel Cube Chamber

• One 6� Wafer with 8� Platen or five 4� Wafers on 12� platen

• Heated Gas Lines

• RF Plasma Source with Auto Tuner

• Shower Head Gas Distribution

• 1100 ��C Platen� Rotating

• N₂Flush

• Automatic wafer Loading and Unloading

• Compatible with Cluster